为了研究应用于微型推进系统的微型空气轴承(Micro Air Bearing,MAB)的结构形式及微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System,MEMS)制造工艺,在保证性能需求的前提下,充分考虑轴承结构与MEMS工艺尤其是多层硅直接键合技术(Silicon Direct Bonding,SDB)的兼容性,提出了总厚度为1.5mm的新型结构形式并制定了完整的制造工艺流程；针对微型空气轴承制造的3B(Bearing,Blade,Bonding)挑战,采用变量实验的方法,研究了刻蚀参数对于轴承结构精度的影响规律,轴承侧壁垂直度达到89°,侧壁粗糙度小于10nm,消除了腐蚀扩散等常见的MEMS工艺缺陷,提高了叶片结构的完整性和均匀性,获得了多层硅直接键合的最优工艺参数,通过MATLAB图像处理程序定量分析三层直接键合率达到85%,优于之前报道的结果。研究结果说明,MEMS制造工艺能够用于微型空气轴承的制造,但在结构设计中必须考虑工艺兼容性,刻蚀的偏压功率和腔体压力对于径向轴承的侧壁垂直度和粗糙度具有重要影响,在刻蚀叶片时必须调整刻蚀保护循环比来保证其结构的完整性和均匀性,减少键合层数和应力累积水平对于多层硅直接键合率的提升具有重要作用。

　　轴承检修 高、中压缸的前轴承为自位式可倾瓦轴承，轴承体制承两半，在水平中分面用销定位， 各瓦块装在轴承体内， 以球面垫块来支承和定位， 垫块球面与瓦块中心的垫片接触， 使轴承 与转子能自动对中，轴承体有五块钢垫块支承在轴承座球形孔上，垫块与轴承体间有垫片， 可调整轴承中心，有轴向定位装置防止轴承轴向移动。高、中压缸的后轴承为可倾瓦轴承， 除轴承体与轴承座之间无球形垫块外米乐M6(MiLe)亚洲官方网站- 赔率最高在线投注平台，其他与前轴承相似。 低压缸钱轴承上半瓦为圆筒形，下半瓦为两块可倾瓦组成，轴承体与轴承之间有球形 调整垫块。后轴承为圆筒形，带球形调整垫块。 推力轴承位于高、中压前轴承之前，米乐M6(MiLe)亚洲官方网站- 赔率最高在线投注平台(访问: hash.cyou 领取999USDT）并处于同一轴承座内，推力轴承是自位式的，通 过均压块， 使每一个瓦块都承受同样的载荷。 瓦块和均压块装在支承环内， 支承环则装于壳 体内。推力轴承壳体的轴向位置，可由定位机构调整。 发电机前后轴承有端盖支承并经绝缘，其上半为椭圆瓦，下半为圆筒瓦。 励磁机